Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) передаст первый серийный российский литограф с разрешением 350 нм компании «Маппер» в декабре 2026 года. «Маппер» входит в холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех» и занимается контрактным производством кремниевых элементов по технологии МЭМС на московской фабрике площадью 1500 кв. м, обрабатывающей до 5 тыс. пластин в год.
Вторую машину получит компания «Отраслевые решения» группы «Элемент».
Установку ЗНТЦ разработал совместно с белорусской компанией «Планар». Литограф получил рабочее поле 22×22 мм, работает с пластинами диаметром до 200 мм и использует твердотельный лазер вместо ртутной лампы. Производительность достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час или 43 пластин диаметром 200 мм в час. Разрешение 350 нм применяется при выпуске силовой и автомобильной электроники и промышленного оборудования.
Базовая версия литографа стоит 392 млн рублей без НДС, комплектация с расширенным сервисом и пятилетней гарантией — 561 млн рублей. Сопоставимые зарубежные установки дороже на 40–60%. Срок изготовления — около 18 месяцев после аванса в половину стоимости.
ЗНТЦ и «Планар» уже разрабатывают следующую установку с разрешением 130 нм, опытный образец анонсирован в августе 2026 года, стоимость работ — 5,7 млрд рублей. Серийные поставки таких литографов планируют начать в 2027 году.
