Россия за последние три года освоила выпуск около 60 критически важных материалов и химической продукции для микроэлектроники — высокочистых газов, фоторезистов, антиотражающих покрытий, растворителей и прекурсоров. Об этом на форуме «Микроэлектроника-2026» сообщил первый вице-премьер Денис Мантуров. Еще порядка 60 позиций планируется вывести на рынок к 2029 году, всего сейчас идёт более 100 разработок в сфере оборудования, материалов, спецхимии и средств автоматизированного проектирования.
Россия и Белоруссия совместно изготовили опытный образец литографической установки для производства микросхем по техпроцессу 130 нм, для неё разработали собственный эксимерный лазер. По словам главы Минпромторга Антона Алиханова, приёмочные испытания машины начнутся осенью и завершатся до конца года. Страна также переходит к серийным поставкам первого отечественного фотолитографа с разрешением 350 нм.
В Зеленограде завершается создание научно-технологического центра по выпуску фотошаблонов с поэтапным освоением норм вплоть до 28 нм, разработаны российские системы плазмохимического травления и осаждения.
По данным Мантурова, в 2025 году закупки российской электроники на регулируемом рынке выросли на 13% до 750 млрд руб., её доля достигла почти 65%. Дополнительный спрос должен обеспечить переход субъектов критической информационной инфраструктуры на отечественные решения.
